Mahitaji ya kupima
Scan kupima tofauti kubwa kati ya chuma chip edge folding sehemu na chuma chip substrate na kupima mara kwa mara kuthibitisha repeatability

Maelezo ya jumla ya vipengele kuu

1. Noncontact kupima, Integrated kubuni

2. Wide aina ya matumizi, rahisi kufunga na kuondolewa

3. ± 0.5 kwa ± 1μm kurudia usahihi kuhakikisha

4. moja line scan, kasi inaweza kufikia 50mm / s, kuboresha sana kasi ya kugundua

5. offline kugundua, unene wa kuhifadhi data, kuunda takwimu ya usimamizi / uchambuzi wa msingi wa data

6. tajiri alama kazi, OK, NG vidokezo, ufuatiliaji kupima mchakato mzima, kudhibiti ubora, kuboresha ufanisi

Matokeo ya kupima
Tofauti ya juu ni karibu 950μm, kurudia vizuri

Kutatua matatizo ya vifaa vya kupima hatua hii

1. kuna mahitaji ya vifaa vya kupima
2. kupima kuwasiliana, kuharibiwa kwa vifaa vya kupima
3. kipimo mbalimbali ndogo, nafasi si uhakika, kipimo vigumu
Kipimo cha kasi polepole, usahihi wa chini, makosa makubwa ya kupima

5. Muundo tata, gharama kubwa